Meter aliran jisim pintar Pengawal aliran jisim kecil Meter aliran jisim gas panas
Kegunaan dan Ciri-ciri
Pengawal aliran jisim (MFC) digunakan untuk mengukur dan mengawal aliran jisim gas dengan tepat. Mereka mempunyai peranan penting dalam penyelidikan dan pengeluaran dalam industri semikonduktor dan litar bersepadu, disiplin bahan khas, industri kimia, dan pelbagai bidang industri, perubatan, *** dan lampu vakum. Aplikasi yang biasa termasuk: peralatan proses elektronik, seperti penyebaran, pengembangan, CVD、 Oksidasi, penggoresan plasma, sputtering, suntikan ion; dan peralatan salutan, peleburan gentian optik, peralatan reaksi mikro, sistem pengedaran gas campuran, pengukuran kapiler, kromatografi gas dan alat analisis lain.
Penunjuk Teknikal Utama
Julat ukuran (20,30,50,100,200,300,500) SCCM (0 ~ 1,2,3,5,10) SLM
Ketepatan +1.5% F.S.
Linear +0.5 ~ 1.5% FS
Ketepatan berulang +0.2% F.S.
Masa tindak balas 10sec Ciri-ciri gas: (1 ~ 4) sec
Perbezaan tekanan kerja 0.1 ~ 0.5MPa
Tekanan tahan 3Mpa 6Mpa 10Mpa
Suhu persekitaran kerja 0 ~ 70 ℃
Protokol Modbus RS485
Kualiti analog DC 0 ~ 5V, 4 ~ 20mA Pilihan
Ciri-ciri elektrik: SLM
Bekalan kuasa DC + 15V / 24V pilihan, aliran meter <50mA, pengawal <200mA
Sambungan elektrik DB15
Kelebihan 1×10 SCCSHe
Bahan asas Keluli tahan karat 316L
Bahan meterai getah fluoro, butanin, neoprene
Sambungan laluan udara Φ3, Φ6, Φ10, 1/8 ", 1/4 ", 3/8 "
Nota: Pengatur aliran jisim dan pengawal aliran jisim kilang biasanya ditetapkan dengan nitrogen (N₂).
Unit aliran jisim ditetapkan sebagai: SCCM (standard ml / min); SLM (liter/minit standard)
Meter aliran jisim pintar Pengawal aliran jisim kecil Meter aliran jisim gas panas